光刻机巨头大动作 计划与韩国两大芯片巨头合作
国际光刻机巨头又传来大消息。
阿斯麦与SK海力士拟合作
开发EUV光刻机氢气回收技术
据界面新闻,韩国产业通商资源部12月13日表示,总部位于荷兰的阿斯麦公司(ASML)计划扩大与韩国芯片制造商的业务合作。除ASML计划与三星电子共同投资1万亿韩元(约合54.4亿元人民币)在韩国建芯片研究中心外,ASML还与韩国第二大芯片制造商SK海力士签署谅解备忘录,以开发回收极紫外(EUV)光刻机中使用的氢气的技术,以降低极紫外线光刻机能耗。
数据显示,2022年全球光刻机市场超过200亿美元,ASML、Canon、Nikon三大巨头垄断了大部分市场份额,光刻机营